極限真空是羅茨真空泵的重要參數(shù)之一，其含義是在嚴(yán)密封閉泵的入口時(shí)，經(jīng)較長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)所能達(dá)到的最高真空度。因常用壓力表示，故又稱極限壓力。從特性曲線中可以看出，當(dāng)羅茨真空泵達(dá)到極限真空時(shí)，通過泵入口的正向氣流量為零，即泵的實(shí)際抽速為零。如果與前級(jí)真空串聯(lián)工作，由于氣流連續(xù)性，此時(shí)前級(jí)泵也同時(shí)達(dá)到極限真空。
羅茨真空泵在作為機(jī)械增壓泵使用時(shí)，其極限真空與前級(jí)真空泵有關(guān)，選擇不同的前級(jí)泵可以獲得不同的極限真空。用水環(huán)真空泵作前級(jí)泵時(shí)，單級(jí)羅茨真空泵的極限真空為1Torr左右，雙級(jí)羅茨真空泵可達(dá)2*10-2Torr,用滑閥真空泵作前級(jí)泵時(shí)，單級(jí)羅茨真空泵的極限真空為5*10-4Torr,雙級(jí)羅茨真空泵可達(dá)到1*10-5Torr。
直排大氣的濕式羅茨真空泵的極限真空不高，一般約為60~40Torr，其真空度高低與泵制造的質(zhì)量有關(guān)。不過這種羅茨真空泵常常是用在抽粗真空的場(chǎng)合，所要求的真空度比極限真空低得多，因此這種泵的極限真空對(duì)使用來說意義不大。
在試驗(yàn)羅茨真空泵的極限真空時(shí)，按照部頒標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定一般要求開動(dòng)10~20min以達(dá)到極限真空，同時(shí)還要注意泵的濕度應(yīng)保持正常。新出廠的羅茨真空泵達(dá)到極限壓強(qiáng)的時(shí)間可能更長(zhǎng)一些，因?yàn)榱慵峡赡苡幸讚]發(fā)的清洗液，或因泵的潤(rùn)滑油吸收了水份和氣體，需要一定的時(shí)間才能充分揮發(fā)。最好能試驗(yàn)二、三次，以便加以比較。
