一般真空系統(tǒng)的設計計算是以總放氣量Q為依據的，又根據冶金工藝過程的特點，也要以氣源的性質作為設計的依據。即要求設計時對氣源的質與量要并重來決定設計方案。
在真空冶煉過程中，氣源性質的顯著特點是氣體溫度較高并含有大量灰塵，以及氧氣、氫氣的成分較多，有時還含有大量帶腐蝕性或有毒的氣體。因而在一些系統(tǒng)中，通常設有除塵器、過濾器、化學拼和低沮腆等，有時管路還需水冷。
有些帶腐蝕性氣體，如海綿欽的工藝過程，有氯化氫氣放出，粉塵物對機械泵油和泵體部件的腐蝕一也相當嚴重，使泵油不得不經常更換。根據工藝要求，采用羅茨泵和水環(huán)泵組成真空系統(tǒng)效果較好。
此外還有排出水蒸汽的問題。如真空系統(tǒng)從大氣開始抽空，在1~10-1Torr時開始放氣，而10-1~10-2Torr時，表面主要放氣是空氣中的水蒸汽。氣鎮(zhèn)泵可以部分地解決這個問題。在超高真空系統(tǒng)中的殘余氣體中氫氣較多，也可選用鋯鋁吸氣泵。
以不同的氣源性質來選擇合適的抽氣設備，可使真空系統(tǒng)的作用得到充分的發(fā)揮。
